वैक्यूम पंपविभिन्न प्रकार में उपयोग किया जाता हैवैक्यूम सिस्टम, चैंबर और संचालन विधियों के साथ। कुछ मामलों में, एक से अधिक पंप (श्रृंखला या समानांतर में) एक ही आवेदन में नियोजित किए जाएंगे। एक सकारात्मक विस्थापन पंप जो एक सेवन पोर्ट से एक आउटलेट (निकास) पोर्ट तक गैस लोड करता है, का उपयोग आंशिक वैक्यूम बनाने के लिए किया जा सकता है, जिसे अक्सर रफ वैक्यूम के रूप में जाना जाता है। ऐसे पंप अपनी यांत्रिक बाधाओं के कारण केवल कम वैक्यूम तक ही पहुँच सकते हैं। अन्य प्रक्रियाओं, आम तौर पर अनुक्रम में, बाद में एक बड़ा वैक्यूम बनाने के लिए उपयोग किया जाना चाहिए (आमतौर पर एक नकारात्मक विस्थापन पंप का उपयोग एक तेज़ वैक्यूम बनाने के लिए किया जाता है)। एक तेल-सील रोटरी वेन पंप (सबसे विशिष्ट सकारात्मक विस्थापन पंप) का उपयोग प्रसार पंप का समर्थन करने के लिए किया जा सकता है, या एक सूखी स्क्रॉल पंप का उपयोग टर्बोमोलेक्युलर पंप का समर्थन करने के लिए किया जा सकता है। आवश्यक वैक्यूम की ताकत के आधार पर अन्य संयोजन मौजूद हैं।
उच्च निर्वात प्राप्त करना कठिन है क्योंकि निर्वात के अधीन सभी सामग्रियों की गैसिंग और वाष्प दाब विशेषताओं की सावधानीपूर्वक जांच की जानी चाहिए। उदाहरण के लिए, निर्वात कक्ष सील के रूप में उपयोग किए जाने वाले तेल, ग्रीस और प्लास्टिक या रबर गैसकेट को निर्वात के संपर्क में आने पर उबलना नहीं चाहिए; अन्यथा, उत्पादित गैसें निर्वात की उचित डिग्री प्राप्त करने से रोकेंगी। निर्वात के संपर्क में आने वाली सभी सतहों को अक्सर अवशोषित गैसों को हटाने के लिए उच्च तापमान पर भूनना चाहिए।
वैक्यूम पंपिंग से पहले सुखाना भी गैस निकलने से रोकने में मदद कर सकता है। धातु के गैसकेट सील वाले धातु कक्ष, जैसे कि क्लेन फ्लैंग्स या आईएसओ फ्लैंग्स, रबर गैसकेट की तुलना में उच्च वैक्यूम चैंबर सील में अधिक बार पाए जाते हैं, जो कम वैक्यूम चैंबर क्लोजर में अधिक आम हैं। सिस्टम को साफ होना चाहिए और उसमें कार्बनिक मलबे नहीं होने चाहिए ताकि गैस निकलने को कम किया जा सके। सभी सामग्रियों, ठोस या तरल, में कम वाष्प दबाव होता है, और जब वैक्यूम दबाव इस वाष्प दबाव से नीचे चला जाता है, तो गैस निकलना महत्वपूर्ण हो जाता है। नतीजतन, कई सामग्रियां जो कम वैक्यूम पर अच्छी तरह से काम करती हैं, जैसे कि एपॉक्सी, उच्च वैक्यूम पर गैस निकल सकती हैं। इन सुरक्षा उपायों के साथ, विभिन्न आणविक पंपों के साथ 1 mPa का वैक्यूम प्राप्त किया जा सकता है। उचित डिजाइन और संचालन के साथ 1 µPa प्राप्त करना संभव है।
विभिन्न प्रकार के पंपों का उपयोग श्रृंखला में या समानांतर में किया जा सकता है। एक सकारात्मक विस्थापन पंप का उपयोग मानक पंप डाउन अनुक्रम में एक कक्ष से अधिकांश गैस को खत्म करने के लिए किया जाएगा, जो वायुमंडल (760 टॉर, 101 केपीए) से शुरू होकर 25 टॉर (3 केपीए) तक नीचे काम करेगा। फिर दबाव को सोखने वाले पंप (10 एमपीए) का उपयोग करके 104 टॉर तक कम किया जाएगा। दबाव को 108 टॉर (1 पा) तक कम करने के लिए क्रायोपंप या टर्बोमॉलेक्यूलर पंप का उपयोग किया जाएगा। 106 टॉर से नीचे, एक अतिरिक्त आयन पंप शुरू किया जा सकता है ताकि उन गैसों को हटाया जा सके जिन्हें क्रायोपंप या टर्बो पंप संभाल नहीं सकता है, जैसे हीलियम या हाइड्रोजन।
अल्ट्रा हाई वैक्यूम के लिए अक्सर कस्टम-निर्मित उपकरण, सख्त संचालन प्रक्रियाएँ और उचित मात्रा में परीक्षण-और-त्रुटि की आवश्यकता होती है। धातु-गैसकेटेड वैक्यूम फ्लैंग्स वाले स्टेनलेस स्टील वैक्यूम सिस्टम सबसे आम हैं। सिस्टम में सभी आउटगैसिंग तत्वों के वाष्प दबाव को अस्थायी रूप से बढ़ाने और उन्हें उबालने के लिए, सिस्टम को आम तौर पर बेक किया जाता है, आदर्श रूप से वैक्यूम के तहत। यदि आवश्यक हो तो सिस्टम की यह आउटगैसिंग कमरे के तापमान पर भी की जा सकती है, हालाँकि इसमें काफी समय लगेगा। सिस्टम को वाष्प के दबाव को कम करने के लिए ठंडा किया जा सकता है ताकि वास्तविक संचालन के दौरान अवशिष्ट आउटगैसिंग को कम किया जा सके, जब आउटगैसिंग सामग्री का बड़ा हिस्सा उबल कर बाहर निकल जाए। तरल नाइट्रोजन का उपयोग कुछ सिस्टम को कमरे के तापमान से नीचे ठंडा करने के लिए किया जाता है ताकि अवशिष्ट आउटगैसिंग को रोका जा सके और साथ ही सिस्टम को क्रायोपंपिंग भी किया जा सके।
अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम में कुछ असामान्य रिसाव मार्ग और गैस उत्सर्जन स्रोतों को संबोधित किया जाना चाहिए। एल्युमिनियम और पैलेडियम का जल अवशोषण गैस उत्सर्जन का असहनीय कारण बन जाता है, और यहां तक कि स्टेनलेस स्टील और टाइटेनियम जैसी कठोर धातुओं की अवशोषण क्षमता को भी संबोधित किया जाना चाहिए। गंभीर वैक्यूम में, कुछ तेल और ग्रीस उबलकर बाहर निकल जाएंगे। धातु के वैक्यूम चैंबर की दीवारों की छिद्रता और धातु के फ्लैंग्स की अनाज दिशा को संबोधित करना आवश्यक हो सकता है।
अणु आकार के प्रभाव को ध्यान में रखना चाहिए। छोटे अणुओं को विशिष्ट सामग्रियों द्वारा लीक करना और अवशोषित करना आसान होता है; इस प्रकार, आणविक पंप छोटे आणविक भार वाले गैसों को पंप करने में कम कुशल होते हैं। हालाँकि एक प्रणाली नाइट्रोजन (हवा का प्रमुख घटक) को उचित वैक्यूम में निकालने में सक्षम हो सकती है, लेकिन बचे हुए परिवेशी हाइड्रोजन और हीलियम अभी भी कक्ष में मौजूद हो सकते हैं। पैलेडियम (एक उच्च क्षमता वाला हाइड्रोजन स्पंज) जैसी अत्यधिक गैस-पारगम्य सामग्री से बने बर्तनों में गैस निकलने की समस्याएँ उत्पन्न होती हैं।
